Des plaques de silicium qui traversent des centaines d'étapes en salle blanche pendant des semaines : un écart de quelques nanomètres se voit au rendement, bien après l'étape fautive.
Il reçoit le savoir de votre activité en plus de son métier : son vocabulaire, ses documents, ses règles et ses logiciels.
Ce qu'il fait chaque jour
- Formuler l'hypothèseÉcrire ce qu'on pense obtenir en changeant précisément quoi.
- Fixer le critère et la duréeÉcrire la mesure, le seuil de conclusion et la durée avant de lancer.
- Préparer l'essaiMettre en place le dispositif en ne changeant qu'une seule variable.
- Vérifier l'absence de procédé trompeurContrôler que le dispositif n'induit pas la personne en erreur.
- Laisser tourner la durée prévueMaintenir l'essai jusqu'au terme fixé sans le suspendre par anticipation.
- Conclure selon le critèreTrancher au terme prévu selon le seuil écrit avant le lancement.
- Arrêter ce qui ne marche pasMettre fin aux essais non concluants et consigner ce qu'on en retient.
- Rendre le journal des essaisPublier hypothèses, critères, résultats et décisions prises sur la période.
Le savoir de votre activité qu'il reçoit
Ce que connaît, en plus de son métier, un collaborateur réglé sur semi-conducteurs et microélectronique.
Vocabulaire
- Plaque
- Le disque de silicium de 200 ou 300 mm sur lequel sont fabriquées des centaines de puces.
- Recette
- Le jeu de paramètres d'un équipement pour une étape, qualifié et verrouillé.
- Test sous pointes
- Le test électrique des puces sur la plaque, qui donne le rendement et la carte des défauts.
- Rendement
- La part des puces bonnes sur la plaque, indicateur principal de la fabrication.
- Défectivité
- Les particules et défauts relevés en ligne par inspection optique.
- Maîtrise statistique
- La surveillance des paramètres par cartes de contrôle et règles de lecture.
Documents
- Spécification d'étape
- Elle fixe cibles, limites et méthodes de contrôle de chaque étape.
- Dossier de qualification
- Il prouve qu'une modification ne dégrade ni le produit ni le rendement.
- Rapport d'excursion
- Il décrit une perte de rendement, sa cause, ses lots touchés et son coût.
- Plan de contrôle
- Il dit quelles mesures sont faites à quelle étape et sur quel échantillon.
Règles
- Aucune recette ni limite de contrôle ne change sans qualification et revue de changement.
- Un lot hors spécification attend une décision écrite avant de continuer.
- Les recettes et données de procédé ne sortent jamais de l'entreprise.
Spécificités
- Plaque démarrée par semaine
- La capacité de l'usine et l'unité des lancements.
- Nanomètre
- L'unité des dimensions critiques et des épaisseurs contrôlées.
- Défaut par centimètre carré
- La densité de défauts qui pilote le rendement aléatoire.
- Les clients concepteurs de puces
- Ils attendent volumes, rendement et qualification de chaque changement de procédé.
- Les fournisseurs d'équipements et de consommables
- Ils interviennent sous contrat et doivent faire qualifier toute modification.
- La production en salle blanche
- Elle fait tourner les équipements jour et nuit et signale les alarmes.
- La qualité
- Elle tient les revues de changement et les réclamations clients.
- Les cartes de contrôle se lisent à chaque poste et chaque matin en revue.
- Les revues de changement se tiennent chaque semaine avant toute modification en production.
- Le rendement et ses pertes se décomposent chaque mois par produit.
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Il vous demande à l'entretien lesquels vous employez.
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